| |
Teknik Veriler:
Plasma etcher Tetra-100-LF
Kumanda dolabý:
G 600 mm, Y 2.200 mm, D 800 mm
Hücre:
G 400 mm, Y 400 mm, D 625 mm
Hücre
hacmi:
yakl. 100 litre
Gaz giriþi:iðneli valf üzerinden 2 gaz kanalý
Alternatör:
40kHz/0-2.500 W
(Opsiyonel: 13,56 MHz veya 2,45 GHz)
Vakum
pompasý:
Leybold, D40B tipi (40 m³/h)
Parça giriþi:
10 adede kadar ürün taþýyýcýsý
(Opsiyonel: döner tambur)
Kumanda:
tam otomatik, zamanlayýcý üzerinden proses süresi
Seçenekler/Aksesuarlar
|
|
Üretim için TETRA-100-LF:
Temizleme, aktivasyon, yakma
TETRA-sistemler için döner
tambur ve altýlý ürün taþýyýcýsý |
