 |
| |
УСТАНОВКА - ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ – STANDARD PLASMA SYSTEM
|
| |
[ УСТАНОВКА: PLASMA ETCHER NANO UHP - СДАЁТСЯ В АРЕНДУ, ДОСТУПНА НА КОРОТКИЙ СРОК ]
|
| |
|
| |
Малогабаритная установка „plasma etcher NANO UHP“ с камерой объёмом 18 литров и полуавтоматическим управлением, используется, главным образом, в следующих отраслях производства:
- Мелкосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Электротехника
- Техника обработки пластмасс
- Техника эластомеров
- Научно-исследовательские работы
Эта плазменная система не имеет стальной плазменной камеры, что позволяет использовать плазму, где содежание хрома, никеля или железа в течение плазменной обработки недопустимо. Металлическая камера заменена на стеклянную или кварцевую со специальными фланцами.
|
| |
|
| |
|
| |
| |
Технические характеристики:
Plasma etcher NANO UHP
Шкаф распределительного устройства:
Ш 580 мм, В 650 мм, Г 600 мм
Камера:
Ø 240 мм, Г 400 мм
(опционально: L 600 мм)
Входное окно: Ø 230 мм
Материал: кварцевое или боросиликатное стекло
Передняя и задняя панели камеры: алюминиевые
Объём камеры:
~ 18 литров
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц / 300 Вт, бесступенчатый
(опционально: 13,56 МГц или2,45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип D8B (8 м³/ч)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.
Управление:
полуавтоматическое, время устанавливается таймером
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК |
|
Малогабаритная установка „plasma system NANO UHP“ с полуавтоматическим управлением: очистка, активация, травление, насенение покрытий |
|
| |
|
| |
|
| |
Для получения дальнейшей технической информации об этой установке свяжитесь с нами. |
| |
|
| |
|
|
|
