| |
В плазменную камеру вводится газ [например, Гексаметилдисилоксан (HMDSO), гексаметилдисилацан (HMDSN), тетраэтиленгликоль-диметил эфир, C2F6 и др.]. Плазменная полимеризация ведет к oбразованию различных поверхностных слоёв.
Применение plasma coating:
- Нанесение гидрофобных слоёв
- Нанесение гидрофильных слоёв
- Блокировка диффузионных процессов
|
