ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ – СТАНДАРТНЫЕ УСТАНОВКИ - STANDARD PLASMA SYSTEMS

Технические характеристики:
Plasma etcher TETRA 150-LF-PC

Шкаф распределительного устройства:
Ш 1000 mm, В 2.100 mm, Г 1000 mm
Камера:
Ш 400 mm, Г 625 mm, В 600 mm
Объем камеры:
~ 150 литров
Подвод газа:
max. 2 канала подвода газа с электронной регулировкой (MFC)
Генератор:
40 кГц / 0 – 2.500 Вт
(опционально: 13.56 МГц или 2.45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип D65B (65 m³/h)
Комплектация:
До 16 ярусов(до 16 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
ПК управление (Windows)

ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК