| |
ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ -
УПРАВЛЕНИЕ - PLASMA SYSTEMS CONTROL
|
| |
[
ДИАГРАММА ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА - PLASMA SYSTEMS]
|
| |
|
| |
Ниже
приведено изображение диаграммы
параметров процесса. Такие
параметры, как фактическое
давление, фактический газовый
поток и мощность генератора
представлены в виде графика и в
виде чисел. |
| |
|
| |
|
| |
Диаграмма параметров процесса |
| |
|
| |
|
