| |
Gaz [
np. heksametylodisiloksan (HMDSO), heksametylodisilazan
(HMDSN), eter dimetylowy tetraetylenoglikolu, C2F6 .] jest
wprowadzany do komory plazmowej. W wyniku polimeryzacji plazmy
na powierzchni wydzielane są warstwy.
Zastosowania plasma coating:
- wydzielanie warstw hydrofobowych,
- wydzielanie warstw hydrofilowych,
- zastosowanie np. jako blokady dyfuzji.
|
