| |
Dane techniczne:
Plasma etcher TETRA-150-LF-PC
Szafa rozdzielcza:
W 1000 mm, H 2.100 mm, D 1000 mm
Komora:
W 400 mm, D 625 mm, H 600 mm
Objetosc komory:
approx. 150 litres
Doprowadzenie gazu:
max. 2 gas channels through MFC
Generator:
40kHz/0-2500 W
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Pompa prózniowa:
Leybold, Type D65B (65 m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
up to 16 trays
(optional: rotary drum)
Sterowanie:
PC control (Windows)
Opcje/osprzet
|
|
Plasma system TETRA-150-LF-PC for cleaning, activation and
etching in production.
Sixfold tray and rotary drum for TETRA
plasma systems. |
