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[ Anisotropo ]
Che dipende dalla direzione. L’anisotropia (dipendenza dalla direzione) nel settore dei processi al plasma è particolarmente importante nei processi di etching per la formazione di microstrutture, come nelle commutazioni di circuito. Un grado di anisotropia che sia il maggiore possibile è fortemente auspicabile, ovvero la massima direzione preferenziale della velocità dell’etching, come viene osservata in particolare nei processi fisici di etching.
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