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[ Fotoresist ]
Un fotoresist è un rivestimento che modifica la propria struttura all’esposizione della luce. I fotoresist vengono divisi in positivi e negativi. Nei fotoresist positivi le parti esposte alla luce vengono riconosciute con un appropriato rivelatore. Nei fotoresist negativi si fa il contrario. I rivestimenti fotoresistenti sono utilizzati principalmente nella microelettronica e nella tecnica dei microsistemi per la produzione di strutture nell'ordine del micrometro e del sub-micrometro.
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