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[ Processo LIGA ]
L'abbreviazione sta per litografia, galvanometria e modellatura (dal tedesco Lithographie Galvanoformung Abformung), che sono i passaggi fondamentali di questo processo. Per il processo litografico viene utilizzata la litografia a raggi X. Le strutture plastiche vengono depositate su uno strato base metallico. Successivamente al processo di sviluppo le diverse zone strutturali possono essere colmate con metalli (ad es. nichel, oro, rame, leghe). Dopo l’aumento del metallo la plastica rimanente viene rimossa e rimangono microstrutture metalliche. Se si lascia il metallo crescere oltre il resist si ottiene una placca omogenea, stabile e metallica che sostiene le microstrutture e che può essere utile come strumento per i processi seguenti di modellatura. Con il processo LIGA è possibile produrre strutture molto numerose fino al millimetro con parti laterali quasi verticali e molto lisce.
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