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Données techniques:
Plasma etcher TETRA-100-LF-PC
Dimensions du système :
L 600 mm, H 2200 mm, P 850 mm
Dimensions de la chambre :
L 400 mm, H 400 mm, P 625 mm
Volume de la chambre :
100 litres
Alimentation en gaz :
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit
massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 2500 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D40B (40 m3/h)
Support de pièce :
Jusqu’à 10 plateaux (tambour rotatif en
option)
Contrôle automatique et manuel du
système par un PC sous Windows.
Options /
accessories
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Plasma system TETRA-100-LF-PC Contrôlé par PC :
Construit pour la production, nettoyage, activation,
gravure, dépôt , etc.
Support 6 plateaux tambour
rotatif pour TETRA
systems. |
