| |
Données techniques:
Plasma etcher TETRA-150-LF-PC
Dimensions du système :
L 1000 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre :
L 400 mm, H 600 mm, P 625 mm
Volume de la chambre :
150 litres
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit
massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 2500 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D65B (65 m3/h)
Support de pièce :
Jusqu’à 16 plateaux (tambour rotatif en
option)
Contrôle
Contrôle
automatique et manuel du
système par un PC sous Windows.
Options /
accessories
|
|
Plasma system TETRA-150-LF-PC Contrôlé par PC :
Construit pour la production, nettoyage, activation,
gravure, dépôt , etc.
Plateau avec six etages et
tambour rotatoire pour des systèmes TETRA |
