Dimensions du système : L 600 mm, H 2200 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 1.200 mm, H 150 mm, P 1.700 mm Volume de la chambre : 120 litres Alimentation en gaz : 4 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique générateur (x2) : 40 KHz, réglable de 1 à 2500 W Support de pièces: Porte automatique Contrôle: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
Options / accessories
Le système de production Tetra-500, avec sa chambre de 500 litres, son contrôle automatique par PC et sa porte automatique est utilisé pour le production de grandes séries dans les domaines du nettoyage, de l’activation et de la gravure. Type: Plasma etcher Tetra-500-LF-PC :
Dimensions du système : L 600 mm, H 2.100 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1.500 mm, H 1.700 mm, P 200 mm Volume de la chambre : 500 litres Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique générateur (x2) : 40 KHz, réglable de 1 à 2500 W Support de pièces: 2 systèmes dérouleur enrouleur Contrôle: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
Le système de production Tetra-600, avec sa chambre de 600 litres, et son contrôle automatique par PC est utilisé pour le production de grandes séries dans les domaines du nettoyage, de l’activation et de la gravure:
Type: Plasma etcher Tetra-600-LF-PC :
Dimensions du système : L 600 mm, H 2.200 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1.000 mm, H 1.000 mm, P 600 mm Volume de la chambre : 600 litres Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique générateur (x2) : 40 KHz, réglable de 1 à 2500 W Support de pièce: Jusqu’à 10 plateaux porte pièces Contrôle: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
Le système de production Tetra-600, avec sa chambre de 600 litres, son tambour rotatif et son contrôle automatique par PC est utilisé pour le production de grandes séries dans les domaines du nettoyage et de l’activation:
Dimensions du système : L 600 mm, H 2.200 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1.000 mm, H 1.000 mm, P 700 mm Volume de la chambre : 600 litres Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique générateur (x2) : 40 KHz, réglable de 1 à 2500 W Support de pièces: Tambour rotatif comprenant 4 paniers de 30 litres Contrôle: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
Le système de production Tetra-2400, avec sa chambre de 2400 litres et son contrôle automatique par PC est utilisé pour le production de grandes séries dans les domaines du nettoyage et de l’activation.
Type: Plasma etcher Tetra-2400-LF-PC :
Dimensions du système : Dimensions de la chambre : Ø 1.000 mm, H 1.000 mm, P 1.100 mm Volume de la chambre : 2.400 litres Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique générateur (x4) : 40 KHz, réglable de 1 à 2500 W Support du pièces: Tambour rotatif comprenant 16 paniers de 30 litres Contrôles: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
Le système de production Tetra-12.600, avec sa chambre de 12.600 litres et son contrôle automatique par PC est utilisé pour le production de grandes séries dans les domaines du nettoyage et de l’activation.
Type: Plasma etcher Tetra-12.600-LF-PC :
Dimensions de la chambre : L 2.400 mm, H 2.100 mm, P 2.500 mm Volume de la chambre : 12.500 litres générateur (x6) : 40 KHz, réglable de 1 à 2500 W Contrôle: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
