Données techniques:
Plasma cleaner Femto PCCE
Dimensions du système:
L 562 mm, H 211 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 100 mm, P 280 mm
Volume de la chambre:
2,8 litres
Alimentation en gaz:
2 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.
Options / accessoires
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Plasma system FEMTO PCCE (front):
Process development, cleaning, activating, etching (petites séries)
Plasma system FEMTO PCCE (back)
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