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SISTEMAS DE PLASMA

 

[ OPCIONALES / ACCESORIOS PARA PLASMA SYSTEM ]

   
 

Nuestros sistemas de plasma se pueden suministrar con las siguientes opciones/accesorios:

  1. Generador de 13,56 MHz
    Con el objetivo de cumplir con la norma DIN EN 55011, nuestros generadores de 13,56 MHz están estabilizados por cuarzo. La adaptación de impedancia puede ser fija, manual y automática. Los campos de aplicación principales son la activación, la limpieza, la corrosión, los semiconductores (front end y back end) y la polimerización de plasma.


  2. Generador de 13,56 MHz for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

  3. Generador de 40 kHz
    La adaptación de impedancia sólo puede ser automática, pero existen dos modelos de potencia. Los campos de aplicación principales son la activación, la limpieza, la corrosión, los semiconductores (back end) y la polimerización de plasma.


  4. Generador de 40 kHz for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  5. Generador de 2,45 GHz (microonda)
    La potencia es de 0 a 300 vatios y el generador cuenta con una interfaz de PC. Los campos de aplicación principales son la activación, la limpieza, la corrosión, los semiconductores (front end y back end) y la polimerización de plasma.


  6. Válvula de 2/2 vías para dosificación de líquidos
    Válvula para la dosificación selectiva de monómeros.


  7. Mando semiautomático
    Consulte la descripción detallada de nuestras distintas variantes de mandos en la opción de menú Sistemas de plasma/Mando/Mando semiautomático.



  8. Mando semiautomático for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

    Haga clic en la imagen para ampliarla.

  9. Mando totalmente automático
    Consulte la descripción detallada de nuestras distintas variantes de mandos en la opción de menú Sistemas de plasma/Mando/Mando totalmente automático.


  10. Mando totalmente automático for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

    Haga clic en la imagen para ampliarla.


  11. Mando PC
    Consulte la descripción detallada de nuestras distintas variantes de mandos en la opción de menú Sistemas de plasma/Mando/Mando PC.


  12. Mando PC for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

    Haga clic en la imagen para ampliarla.

  13. Mando PCCE
    Basado en Windows CE y con panel táctil. Consulte la descripción detallada de nuestras distintas variantes de mandos en la opción de menú Sistemas de plasma/Mando/Mando PCCE.


  14. Mando PCCE for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

    Haga clic en la imagen para ampliarla.

  15. Filtro de carbón activo
    El filtro de carbón activo se puede cambiar muy fácilmente.

    Filtro de carbón activo for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment



  16. Filtro de aspiración para vacío
    Protege la bomba de vacío frente a los elementos en suspensión, el recubrimiento y la suciedad.

  17. Filtro de aspiración para vacío for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment




  18. Puerta automática
    Puerta que se cierra automáticamente en el momento en que se inicia el proceso.


  19. Puerta automática for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

  20. Lector de códigos de barras
    De gran utilidad para hacer el seguimiento de los lotes.


  21. Lector de códigos de barras for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  22. Cámara térmica
    Este tipo de cámara se puede calentar hasta aprox. 80 °C. La temperatura es regulable. Resulta indicada para condiciones de procesos definidas e índices de corrosión superiores.

  23. Medidor de tensión de polarización
    El medidor de tensión de polarización es un instrumento de medida que está disponible para los generadores de kHz y MHz.


  24. Borboteador
    El borboteador forma parte de los accesorios de polimerización y sirve para conectar los monómeros líquidos a la cámara de vacío. En vez de la botella para monómeros sencilla, se utiliza un gas portador. El gas portador, por ejemplo, el argón, es expulsado por el monómero.


  25. Borboteador for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

  26. Válvula de mariposa
    La válvula de mariposa se utiliza para regular un flujo de gas en la técnica del vacío, básicamente, en el interior del conducto de aspiración de una bomba de vacío. Para ello, la resistencia al flujo en el conducto se modifica regulando una chapaleta con capacidad para cerrar el conducto en mayor o menor grado./li>

    Válvula de mariposa for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  27. Documentación en el idioma del país
    La documentación se ha elaborado conforme a la Directiva de maquinaria 89/392/CEE. Esto no es aplicable a los idiomas alemán e inglés. La documentación no se adjunta de forma estándar junto con el sistema y es preciso solicitarla por separado.


  28. Tambor giratorio
    Clase de portaartículos que se llena con materiales a granel.


  29. Tambor giratorio for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  30. Presiómetros
    Sensor Pirani o indicador Baratron de la presión en la cámara de vacío.


  31. Presiómetros for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatmentPresiómetros for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  32. Manorreductor
    El manorreductor sirve para conectar 200 bares a la botella de gas. Los distintos gases requieren manorreductores diferentes. Existe un tipo para gases nobles, H2, O2, CF4, C4F8 y otro para NH3.


  33. Manorreductor for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  34. Sistemas continuos
    Permiten integrar un sistema de plasma de baja presión en una línea de trabajo automática.


  35. Juego de piezas de repuesto estándar o PFPE
    El juego de piezas de repuesto comprende 1 anillo tensor, 1 junta, 1 tubo flexible ondulado (tubo flexible de vacío) de acero inoxidable, 1 cristal, 1 junta para puerta, 10 unidades de fusibles finos para el sistema de plasma, así como 1 litro de aceite mineral para la bomba de vacío en el juego estándar y 1 litro de aceite PFPE para la bomba de vacío en el juego PFPE.


  36. Juego de piezas de repuesto estándar o PFPE for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  37. Impresora de etiquetas
    Impresión automática de etiquetas tras el tratamiento de plasma.


  38. Impresora de etiquetas for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

  39. Lector de etiquetas
    De gran utilidad para hacer el seguimiento de los lotes.


  40. Caja/jaula de Faraday
    Indicada para componentes sensibles a la electricidad. Los componentes por tratar se hallan en la caja de Faraday y ésta se puede extraer de la cámara de vacío.


  41. Caja/jaula de Faraday for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  42. Portabotellas de gas
    Para fijarlo en la mesa de trabajo, en las estanterías o en los listones de pared. La amplitud es de 70 mm. La correa tensora asegura sin holgura. Apto para botellas de cualquier tamaño.


  43. Portabotellas de gas for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  44. Detector de gases (Dräger)
    Opción adicional de seguridad para los puestos de trabajo en los que se utilizan gases inflamables.


  45. Placas calentadoras
    Las piezas por tratar se depositan sobre la placa calentadora. La placa se puede calentar hasta un máximo de 150 °C y resulta indicada para condiciones de procesos definidas e índices de corrosión superiores. Existen las dos opciones que se indican a continuación.
    Si está equipada con un indicador de temperatura, en la cámara de vacío se coloca una sonda térmica para poder medir la temperatura superficial del componente.
    Si está equipada con un indicador de temperatura integrado en el mando PC, en la cámara de vacío también se coloca una sonda térmica para medir la temperatura superficial del componente pero, en este caso, la temperatura se muestra en la pantalla.


  46. Placas calentadoras for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  47. Instalación del sistema de plasma in situ
    Esta opción incluye el tiempo de desplazamiento, las horas de trabajo, así como los gastos de desplazamiento de nuestro empleado del servicio técnico.


  48. Sensor de medición de la corriente iónica
    Control de calidad adicional del plasma durante el proceso.


  49. Modelo para gas corrosivo
    Válvulas y entubado de acero inoxidable. Imprescindible para la polimerización de plasma o si se utilizan gases corrosivos como NH3, H2O, CF4 o SF6.


  50. Portaartículos específico de cliente
    De forma estándar, todos nuestros sistemas siempre se suministran con un portaartículos. También se pueden fabricar otros modelos distintos tras consultarlo con Diener electronic. Objetivo: el uso óptimo del sistema de plasma.


  51. Portaartículos específico de cliente for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  52. Barniz en aerosol/juego de placas de vidrio (prueba sin LABS)
    Accesorios para llevar a cabo la prueba de fallos en humectación de barniz (LABS). Volumen de suministro: barniz en aerosol en lata, 5 unidades de 400 ml; placas de vidrio, 100 unidades de 90 mm x 110 mm.


  53. Barniz en aerosol/juego de placas de vidrio (prueba sin LABS)
for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  54. Ventilación lenta de la cámara de vacío
    La cámara de vacío se ventila lentamente mediante un filtro. De este modo se evita que los componentes pequeños se arremolinen en la cámara.


  55. Bombeo lento de la cámara de vacío
    La cámara de vacío se bombea lentamente mediante una válvula de derivación. De este modo se evita que los componentes pequeños se arremolinen en la cámara.


  56. Cámaras de vacío más largas (Femto, Pico, Nano, etc.)
    En cumplimiento de la norma DIN 12198, nuestros sistemas (mirilla) se han sometido a una medición de la intensidad de radiación UV. Resultado: inocuidad absoluta. Las cámaras de vacío están disponibles en acero inoxidable, vidrio borosilicato o vidrio de sílice. Elija entre la tapa o la puerta con bisagra para el cierre de la cámara. La longitud de las cámaras de vacío depende de los requisitos de cada cliente y su aplicación de plasma. No dude en ponerse en contacto con nosotros para más información.


  57. Indicador de potencia
    Instrumento analógico de señalización que indica la potencia del generador.



  58. Indicador de potencia for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  59. Electrodo de varios pisos
    El electrodo de varios pisos está disponible para cámaras de vacío circulares y/o rectangulares. Permite tratar varias piezas a la vez. Su campo de aplicación son los procesos de plasma estándar. No dude en ponerse en contacto con Diener electronic para consultar la construcción exacta de su electrodo específico, así como para obtener más detalles sobre otros materiales para la fabricación de portaartículos.


  60. Electrodo de varios pisos for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  61. Comprobador de fugas de microondas
    Debido a la radiación peligrosa, puede resultar útil acoplar un comprobador de fugas de microondas en los sistemas de microondas.


  62. Botella para monómeros
    Accesorio de polimerización para conectar los monómeros líquidos a la cámara de vacío.


  63. Botella para monómeros for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  64. Conexión de red
    Permite conectar el sistema con un ordenador.


  65. OES (espectrómetro de emisión óptica)
    Supervisa el proceso de plasma como parte del control de calidad y detecta el punto final del proceso de plasma. El OES sólo se puede utilizar en combinación con un sistema controlado por PC.


  66. Accesorios de polimerización
    Conjunto que comprende una botella vaporizadora, una báscula, una bomba dosificadora, calefacción y, en determinados casos, un soporte.


  67. Botella de gas de trabajo
    Botella de oxígeno que se conecta en calidad de gas de trabajo con una cantidad de 2, 5 y 10 litros; la botella de hidrógeno es de 2 litros y la de argón, de 5 litros. El suministro de los gases implica unas condiciones de transporte especiales. Los sistemas de alquiler requieren la compra de la botella.


  68. Bote de vidrio de sílice
    Disponible en dos tamaños y diseñado para procesos de plasma ultrapuros o para el tratamiento de obleas.


  69. Bote de vidrio de sílice for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  70. Electrodo RIE
    Disponible en modelo circular o rectangular de acero inoxidable; consigue unos índices de corrosión superiores. Su campo de aplicación es la corrosión anisotrópica e isotrópica.


  71. Electrodo RIE for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  72. Electrodo RIE con ducha de gas
    Modelo rectangular de acero inoxidable; consigue unos índices de corrosión superiores gracias a la distribución homogénea del gas. Su campo de aplicación es la corrosión anisotrópica.


  73. Electrodo RIE con ducha de gas for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  74. Sistema de rollo a rollo
    Un ejemplo sería el tratamiento de las láminas o los bastidores de conductores.



  75. Sistema de rollo a rollo for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  76. Generador de oxígeno
    El oxígeno se genera a partir del aire ambiente. Tipo Kröber O2. Caudal de oxígeno: 3-6 l/min.


  77. Generador de oxígeno for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  78. Válvula de seguridad
    Diseñada para el uso con gases combustibles, por ejemplo, el hidrógeno, el acetileno, etc.


  79. Válvula de seguridad for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  80. Electrodos especiales y portaartículos
    No dude en ponerse en contacto con Diener electronic para consultar la construcción exacta de su electrodo específico, así como para obtener más detalles sobre otros materiales para la fabricación de portaartículos.


  81. Electrodos especiales y portaartículos for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

  82. Bridas especiales/adicionales
    Las bridas especiales se utilizan cuando son necesarias más conexiones de las previstas.


  83. Bridas especiales/adicionales for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  84. Cámaras de vacío especiales
    En cumplimiento de la norma DIN 12198, nuestros sistemas (mirilla) se han sometido a una medición de la intensidad de radiación UV. Resultado: inocuidad absoluta. Las cámaras de vacío están disponibles en forma circular con tapa o bien rectangular con puerta y bisagra. Están fabricadas en aluminio y se distinguen entre ellas por el diámetro de abertura y por sus dimensiones interiores. No dude en ponerse en contacto con nosotros para más información.


  85. Cámaras de vacío especiales for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  86. Electrodo estándar circular o rectangular
    Fabricado con chapa de acero inoxidable o aluminio y diseñado para los procesos de plasma estándar.


  87. Portamuestras TEM
    Mecanismo especial que permite la inserción en la cámara de plasma, desde el exterior. Se puede confeccionar en cualquier tamaño. Sólo tiene que indicarnos las dimensiones o los planos de sus piezas.


  88. Portamuestras TEM for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  89. Indicador de temperatura
    Indica la temperatura de la cámara sin placa calentadora. En el interior de la cámara de vacío se coloca una sonda térmica que permite medir la temperatura superficial del componente. La indicación de la temperatura también está integrada en el mando PC. En tal caso, la temperatura se muestra en la pantalla.


  90. Indicador de temperatura for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  91. Juego de tintas de prueba
    Las tintas de prueba sirven para analizar fácilmente la tensión superficial. Un juego comprende 28, 38, 56, 64, 72 y 105 mN/m. También se pueden suministrar otros valores bajo pedido.


  92. Juego de tintas de prueba for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  93. Vaporizador térmico
    Indicado para sustancias con una presión de vapor baja. Diámetro de escudilla: 16 mm. Volumen de escudilla: 0,1 l. Apantallamiento contra la acción del plasma, control térmico (máx. 500 °C) y de la velocidad de aumento de la temperatura (hasta 250 °C/min). La conexión se efectúa con un empalme de brida pequeña.


  94. Temporizador LT4H
    Se utiliza en vez del temporizador estándar para ajustar la duración del proceso.


  95. Temporizador LT4H for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  96. Cámaras de vacío de vidrio (borosilicato o de sílice)
    Las cámaras de vacío de vidrio borosilicato resultan indicadas para los procesos de plasma muy puros, mientras que las cámaras de vacío de vidrio de sílice son aptas para los procesos de plasma ultrapuros.


  97. Cámaras de vacío de vidrio (borosilicato o de sílice)
 for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  98. Cámaras de vacío de acero inoxidable
    Las cámaras de vacío de acero inoxidable resultan indicadas para los procesos de plasma estándar.


  99. Cámaras de vacío de acero inoxidable for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  100. Estados de la bomba de vacío
    Bomba de paletas o bomba de funcionamiento en seco con aceite mineral o PFPE. Las bombas se suministran llenas de aceite.


  101. Mecanismo para tratar el polvo
    El polvo se trata en una botella de gas giratoria. La botella se puede extraer del sistema para llenarla.


  102. Dispositif spécial pour le traitement de poudre for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  103. Refrigeración por agua
    Refrigeración por agua/aire con ruedas para uso portátil. Conexión sin potencial mediante 2 contactos inversores para el circuito de protección de la bomba.


  104. Refrigeración por agua for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  105. Oferta de mantenimiento para su sistema de plasma
    La oferta de mantenimiento de Diener electronic se caracteriza por un servicio completo: cambio de aceite; control de todas las conexiones, juntas, conectores, etc.; comprobación del índice de fugas; compensación del sensor de presión, así como un control de funcionamiento. Si desea obtener más información sobre el mantenimiento y el servicio técnico, haga clic en la opción de menú Asesoramiento/Servicio técnico.

  106. Bolsa de lavado
    Diseñada para la prelimpieza de las piezas pequeñas en la lavadora. Dimensiones: 500 mm x 300 mm. Cantidad de pedido mínima: 20 unidades.


  107. Bolsa de lavado for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment


  108. Secador de lavado
    Para la primera limpieza de las piezas pequeñas, antes de iniciar el tratamiento de plasma. Sólo es necesaria con piezas muy sucias. Fabricante: Miele. Tipo: WT 2670 WPM.


  109. Placa portaartículos refrigerada por agua
    La placa refrigerada por agua se monta en el fondo de la cámara y se suministra junto con la bomba de agua y el depósito de agua. Sirve para enfriar las piezas sensibles al calor.


  110. Más funciones de software
    El software se puede ir ampliando en todo momento con otras opciones. No dude en hacernos saber sus requisitos.


  111. Canales de gas adicionales
    Válvulas de aguja: nuestros sistemas se pueden equipar con tantas válvulas de aguja como desee. De forma estándar, el sistema de plasma del tipo Femto incluye 1-3 unidades, pero también es posible dotarlo con más de ellas bajo pedido.


  112. Canales de gas adicionales for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

  113. MFC adicionales
    Los MFC son necesarios en los mandos PC y PCCE. Nuestros sistemas se pueden equipar con tantos controladores de flujo de masa (MFC) como desee.


  114. MFC adicionales for plasma system - plasma cleaner, each plasma etcher needs an individual type, to do the right plasma process, surface technology, optimize plasma treatment

En la mayoría de los casos, las opciones también se pueden reequipar.
   
   
   
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