| |
Es wird ein Gas [ z. B. Hexamethyldisiloxan (HMDSN), Hexamethyldisilazan
(HMDSN), Tetraethylenglykol-dimethyl ether, C2F6 ...] in die Plasmakammer
eingeleitet. Durch
Plasmapolymerisation werden auf der Oberfläche
Schichten abgeschieden.
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
| Vor der Plasmabehandlung |
|
Plasmabehandlung |
|
Nach der Plasmabehandlung |
Anwendungen:
- Abscheiden von hydrophoben Schichten
- Abscheiden von hydrophilen Schichten
- Einsatz z.B. als Diffusionssperre
Bauteile:
- Feinmechanische Getriebe
- Geschirrspülmaschinen
- Medizinische Geräte
- Scheinwerferreflektoren
- Videoköpfe usw.
Anwender:
- Biochiphersteller
- Feinmechaniker
- Geschirrspülmaschinenhersteller
- Medizintechnik
- Sensorenhersteller
- Textilhersteller
- Uhrenhersteller
|
