Plasmaanwendungen

• Reinigen von Metallteilen vor dem Bedrucken, Lackieren, Verkleben, ...
• Aktivieren von Kunststoffen und Elastomeren vor dem Verkleben, Bedrucken, Lackieren, Vergießen, ...
• Ätzen von Bauteilen
• Reduzieren
• Polymerisation: Beschichten von Bauteilen: Schutzschichten, hydrophobe Schichten, Isolierschichten
• Lötvorbehandlung / Löten ohne Flußmittel
• Künstliches Altern von Bauteilen
• Epilamisieren: d.h. Bauteile mit PTFE-ähnlichen Schichten beschichten, um Schmieröl am wegfließen zu hindern
• Bondvorbehandlung
• Sterilisieren
• Reinigen / Trocknen / Reduzieren von Ausgrabungsgegenständen
• Hydrophilieren
• Aktivieren von Kunststoffpulvern
• Reinigen von Metallpulvern

Prozess:

Reinigen von Metallteilen vor dem Bedrucken, Lackieren, Verkleben, ...

Werkstoffe:

Alle techn. Metalle (Alu, Stahl, Kupfer, Wolfram, ...)

Prozessgas:

Sauerstoff, Luft, Argon-Wasserstoff (für Kupfer und Silber)

Prozesszeit:

ca. 30 s – 20 min

Test:

Benetzungstest (Wasser, Testtinten, Gewichtsverlust, REM, ...)

Bauteile:

Gummi-Metalle, Schalter, Sensoren

Potentielle Kunden:

Automobiltechnik

Elektronikindustrie

Filterhersteller

Forschungsinstitute

Gummi-Verarbeiter

Industrielackierer

Klebstoffhersteller (Kooperation)

Laborgerätehändler

Medizintechnik

Schalterhersteller

SEM / TEM

Sensortechnik

Steckerhersteller

Sonstiges:

Einfache Prozesse; keine aufwendigen Vorversuche.

Auch Silikone können entfernt werden.

Einer der wichtigsten Prozesse.

Nur wenige gleichwertige Konkurrenzverfahren.

Versuch:

Metallplatten mit O₂ reinigen → H₂O-Tropfen

Prozess:

Aktivieren von Kunststoffen und Elastomeren vor dem Verkleben, Bedrucken, Lackieren, Vergießen, ...

Werkstoffe:

PP, PE, PP-EPDM, PC, PET

Nicht: PTFE, POM, siehe Ätzen

Prozessgas:

Sauerstoff

Prozesszeit:

ca. 30 s – 30 min

Test:

Testtinten, Gitterschnitttest

Bauteile:

Herzkatheter

Scheinwerferreflektoren

Relaisgehäuse

Sensorgehäuse vor dem Vergießen

Elektronikbauteile

Automobilteile

Textilien

Potentielle Kunden:

Aluminiumbeschichter

Automobiltechnik

Dichtungshersteller

Elektronikindustrie

Forschungsinstitute

Industrielackierer

Klebstoffhersteller

Laborgerätehändler

Medizintechnik

Sensortechnik

Textilhersteller

Uhrenhersteller

Sonstiges:

In allgemeinen einfache Prozesse.

Konkurrenz: Corona, Beflammen.

Versuch:

Prozess:

Ätzen von Bauteilen.

Ziel: Vorbehandlung vor dem Bedrucken, Verkleben, Lackieren.

„Aufrauhen“ der Oberfläche.

Gezieltes Entfernen von Material.

Werkstoffe:

Kunststoffe (auch POM, PTFE), Halbleiter

Prozessgas:

Sauerstoff, Tetrafluormethan, CF₂ und O₂

Prozesszeit:

ca. 3 min – 10 h

Bauteile:

Herzschrittmacher

Dichtungen von Silikon befreien

Bauteileöffner (Halbleiter)

Brackets (Zahntechnik)

Sensortechnik (Ätzen von PTFE)

Potentielle Kunden:

Automobiltechnik

Dichtungstechnik

Elektronikindustrie

Forschungsinstitute

Medizintechnik

Mikromechanik-Hersteller

Sensortechnik

Sonstiges:

Zum Teil aufwendige Prozesse.

Mikromechanik dürfte in Zukunft sehr interessant werden.

Siehe Prospekt (PTFE und POM).

Auf Temperatur aufpassen!

Versuch:

PTFE ätzen, mit Epoxidharzkleber verkleben.

Prozess:

Reduzieren

Werkstoffe:

Kupfer, Silber, Nickel, Kupfer-Beryllium

Prozessgas:

Wasserstoff, Argon-Wasserstoff

Prozesszeit:

ca. 5 min – 15 min

Bauteile:

Schaltkontakte, Halbleiter, Leiterplatten

Potentielle Kunden:

Endoskophersteller

Relais-Hersteller

Schalterhersteller

Sensorhersteller

Sonstiges:

Einfache Prozesse

Versuch:

Reduzieren von Kupfer

Prozess:

Polymerisation: Beschichten von Bauteilen: Schutzschichten, hydrophobe Schichten, Isolierschichten.

Werkstoffe:

Alle Werkstoffe können beschichtet werden.

Prozessgas:

Methan, Acetylen, Hexafluormethan, Octafluorcyclobutan, Hexamethyldisiloxan

Prozesszeit:

ca. 5 min – 1 h

Bauteile:

Scheinwerferreflektoren

Potentielle Kunden:

Alle denkbaren Bereiche

Sonstiges:

Sehr aufwendige Prozessentwicklung!

Versuch:

HMDSO auf Glasplatten.

Prozess:

Lötvorbehandlung / Löten ohne Flußmittel

Werkstoffe:

Lötverbindungen: Kupfer, Zinn, Blei, Beryllium-Kupfer, Stahl

Prozessgas:

Purigon (von Linde), Wasserstoff, Wasserstoff (80%) - Sauerstoff (20%)

Prozesszeit:

60 s – 5 min

Bauteile:

Elektronische Bauelemente

Potentielle Kunden:

Elektronik-Hersteller

Sonstiges:

Aufwendige Vorversuche.

Versuch:

Lötmaschine.

Prozess:

Künstliches Altern von Bauteilen (Toleranzen von Bauteilen)

Werkstoffe:

Alle technischen Werkstoffe.

Prozessgas:

Sauerstoff, Luft

Prozesszeit:

1 min – mehrere Tage

Potentielle Kunden:

Elektronik-Industrie (Quarzhersteller, ...)

Umweltsimulation (UV-Stahlung, Ozon)

Sonstiges:

Einfache Prozesse.

Versuch:

-

Prozess:

Epilamisieren: d.h. Bauteile mit PTFE-ähnlichen Schichten beschichten, um Schmieröl am wegfließen zu hindern

Werkstoffe:

Alle technischen Werkstoffe

Prozessgas:

Fluorhaltige Gase

Prozesszeit:

5 min – 15 min

Bauteile:

Feinmechanische Getriebe (Uhren)

Videoköpfe

Potentielle Kunden:

Uhrenhersteller

Feinmechanik

Sonstiges:

Aufwendige Vorversuche erforderlich.

Begrenzte Anzahl von potentiellen Kunden.

Versuch:

POM-Teil beschichten; mit Silikonöl testen.

Prozess:

Bondvorbehandlung

Werkstoffe:

Kupfer, Alu, Gold

Prozessgas:

Luft, Argon-Wasserstoff, Argon, Wasserstoff,

Bauteile:

Elektronik-Bauelemente

Potentielle Kunden:

Halbleiter-Hersteller

Sonstiges:

Sehr aufwendige Vorversuche erforderlich.

Versuch:

-

Prozess:

Sterilisieren

Werkstoffe:

Alle technischen Werkstoffe. Diese dürfen aber nur geringe Mengen Wasser enthalten

Prozessgas:

Luft, Sauerstoff

Bauteile:

Korken, Spritzen, ...

Potentielle Kunden:

Institute (Lebensmittel)

Medizin

Medizingerätehersteller

Verpackungshersteller

Sonstiges:

Kaum Erfahrung vorhanden, viele Konkurrenzverfahren, die billiger sind.

Versuch:

-

Prozess:

Reinigen / Trocknen / Reduzieren von Ausgrabungsgegenständen

Werkstoffe:

Glas, Keramik, Metall, Papier

Prozessgas:

Sauerstoff, Wasserstoff, Argon-Wasserstoff

Prozesszeit:

mehrere Stunden

Bauteile:

Münzen, Vasen, Nägel, Helme, Schwerter, ...

Potentielle Kunden:

Forschungsinstitute

Museen

Restauratoren

Versuch:

-

Prozess:

Hydrophilieren

Werkstoffe:

Metalle, Glas, Keramik

Prozessgas:

O₂, Vinylacetat, HMDSO

Prozesszeit:

60 s – 30 min

Bauteile:

Medizintechnik

Geschirrspülmaschinen

Potentielle Kunden:

Biochiphersteller

Geschirrspülmaschinenhersteller

Sensorhersteller (Textilgewebe)

Textilhersteller

Versuch:

Besteckkorb

Prozess:

Aktivieren von Kunststoffpulvern

Werkstoffe:

PP, PE, PP-EPDM, PC, PET

Nicht: PTFE, POM, siehe Ätzen

Prozessgas:

Sauerstoff

Prozesszeit:

ca. 30 s – 30 min

Test:

Wassertest

Bauteile:

Gummi

Klebstoff

Lack

Potentielle Kunden:

Gummihersteller

Klebstoffhersteller

Lackhersteller

Versuch:

PTFE-Pulver

Prozess:

Reinigen von Metallpulvern

Werkstoffe:

Aluminium, Kupfer

Prozessgas:

Wasserstoff

Prozesszeit:

> 1 h

Test:

Wassertest

Bauteile:

Lacke

Potentielle Kunden:

Lackhersteller

Versuch:

Alu-Pulver