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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN

 

[ PIRANI-VAKUUM-MESSGERÄT]

   
  Anwendungsgebiete:
  • Zur Prozessführung von Vakuum-Systemen Niederdruckplasma
   
   
 

Niederdruck-Vakuum-Messgerät für Druckbereich 10-² bis 10 mbar

 
 
  • Erfassbarer Druckbereich 10-² bis 10 mbar
    Absolute Toleranz besser 5 %
  • Analogausgang 0 bis 10 Volt entsprechend der drei auswertbaren Druckdekaden in 3,3 V Rasterung skaliert
    (0,01 mbar = 0V; 0,1 mbar = 3,3V; 1 mbar = 6,6V; 10 mbar =10V)
  • Schaltausgang für Prozessfreigabe (min/max Druck) bis 230V AC/1A belastbar.
    Wertevorgaben via interne Einstellregler oder per SW möglich
  • Controller-Steuerung für autonomen als auch in die Prozesssteuerung eingeführten Betrieb möglich
  • Interface: LAN (RJ45) und USB 2,0 u.a. auch für SW-Updates nutzbar. RS485 nur für "embedded mode" in Prozesssteuerung verfügbar
  • Auf Grund der elektro-mechanischen Konstruktion des Sensorkopfes (0,1 mm Draht aus einer Platinlegierung) sehr robust gegen chemische und hochfrequente Beeinflussung
  • Korrektur der Druckkennlinie für verschiedene Gase via DIP-Schalter oder SW möglich (noch in Entwicklung)
  • Netzspannung: 88-264 VAC/47 - 63 Hz
    oder für "embedded mode" 15-24 V DC
  • Leistungsaufnahme ca 5W
  • Netzstecker: IEC
  • Gewicht: ca. 1,5 kg, Sensorkopf ca. 400g
  • Abmessungen: 19-Zoll-Einschub; 3 HE   


 











 

   
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