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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM TETRA 30

[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]



Die TETRA 30 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den TETRA 30 Plasmasystemen.

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 99931 - 0

Prospekt TETRA 30 (PDF)


Grundausstattung

- Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 34 - 57 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr

- Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

- Edelstahl
    rechteckig, Tür mit Scharnier
    (ca. B 305 x H 300 mm x T 370 mm oder 625 mm)


Beladung

  Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,
  Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech,
  Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas


Elektroden

- Ein- oder Mehretagen
- RIE Elektrode mit Gasdusche

Steuerung

- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE)

Druckmessung

- Pirani
- Baratron (für Korrosivgas Version)

Timer

- Digital

Generatoren

Frequenzen:   40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
                  13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W
                    2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W; 0 -1200 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

- in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern
(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)


 

Hier sehen Sie einige Beispiele unserer
TETRA 30 Gehäuse



Plasmasystem TETRA 30 Variante A, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 TETRA 30 Beispiel Variante A


Plasmasystem TETRA 30 Variante B, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 TETRA 30 Beispiel Variante B



Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.

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