|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM TETRA 150[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]Die TETRA 150 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den TETRA 150 Plasmasystemen. Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Prospekt TETRA (PDF 1.556 KB) Grundausstattung - Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen- Kammervolumen: je nach Version 150 Liter - Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen Gaszufuhr - Nadelventile- Mass-Flow-Controller (MFCs) Vakuumkammern - Edelstahlrechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 x H 600 mm x T 625 mm) Beladung Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas Elektroden - Ein- oder Mehretagen- RIE Elektrode mit Gasdusche Steuerung - Halbautomatik- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE) - PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE) Druckmessung - Pirani- Baratron (für Korrosivgas Version) Timer - DigitalGeneratoren Frequenzen: 40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W 2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % Vakuumpumpen - in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter) Weitere Optionen Ersatzteilsets, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolimerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoff-Generator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Proben-halterflansch, Wartung / Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung.Hier sehen Sie einige Beispiele unserer |
|
|
