|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM TETRA 100[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]Die TETRA 100 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den TETRA 100 Plasmasystemen. Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Prospekt TETRA (PDF 1.556 KB) Grundausstattung - Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen- Kammervolumen: je nach Version 80 - 100 Liter - Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen Gaszufuhr - Nadelventile- Mass-Flow-Controller (MFCs) Vakuumkammern - Edelstahlrund, Tür mit Scharnier (ca. Ø 400 mm, L 625 mm) rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 x H 400 mm x T 625 mm) Beladung Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas Elektroden - Ein- oder Mehretagen- RIE Elektrode mit Gasdusche Steuerung - Halbautomatik- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE) - PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE) Druckmessung - Pirani- Baratron (für Korrosivgas Version) Timer - DigitalGeneratoren Frequenzen: 40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W 2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % Vakuumpumpen - in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter) Weitere Optionen Ersatzteilsets, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolimerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoff-Generator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Proben-halterflansch, Wartung / Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung.Hier sehen Sie einige Beispiele unserer |
|
|
