diener electronic  |  Plasma-Surface-Technology Plasmaanlagen, Oberflächenbehandlung, Oberflächentechnologie, Plasma
 
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PLASMA OBERFLÄCHENTECHNIK · REINIGEN · AKTIVIEREN · ÄTZEN · BESCHICHTEN

[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]



Wir bauen Plasmaanlagen speziell zugeschnitten auf Ihre Bedürfnisse.
Die Anlagen werden nach folgenden Gesichtspunkten konzipiert:
  • zu erwartender Materialdurchsatz
  • Größe der zu behandelnden Teile

Prospekt Sonderanlagen (PDF 1284 KB)


Sonderanlagen:


Sonder-Plasmaanlage Tetra-2-PC, Rolle zu Rolle


Technische Daten:

Gehäuse:
B 3.491 mm, H 1.000 mm, T 1.278 mm
Kammer:
L 1.050 mm, Ø 90 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Rolle-zu-Rolle

Plasmaanlage Plasma-2-PC, Garn, Draht, Fasern Beschichtung, Plasma activation

Die Tetra-2-PC Rolle-Zu-Rolle Plasmaanlage ist für das Beschichten von Fasern, Garnen und Drähten mit einer Rolle zu Rolle Vorrichtung konzipiert.


Sonder-Plasmaanlage Tetra-15-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 800 mm
Kammer:
B 360 mm, H 150 mm, T 260 mm
Kammervolumen:
ca. 15 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Sputter Plasmaanlage Tetra-15-LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die TETRA 15 Plasmaanlage ist für das Sputtern (hochvakuumbasierte Beschichtungstechnik) sowie für das Reinugungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen konzipiert.


Sonder-Plasmaanlage Tetra-30-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 800 mm, H 600 mm, T 500 mm
Kammer:
B 240 mm, H 150 mm, T 240 mm
Kammervolumen:
ca. 30 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über MFCs
Generator:
1 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage kann in einer Fertigungslinie integriert werden.

Plasma Kurztaktanlage Tetra-30 für Reinigung, Aktivierung,

			Ätzung Ein Video der Plasma Kurztaktanlage Tetra 30 LF-PC

Eine Kurztaktanlage kann gut in eine bestehende Fertigungslinie integriert werden. Eine vollautomatisierte Kurztaktanlage wird zusätzlich die möglichen Bedienerfehler ausschließen.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-100-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 2.000 mm, H 2.200 mm, T 2.000 mm
Kammer:
B 700 mm, H 200 mm, T 700 mm
Kammervolumen:
ca. 100 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage hat eine Schubladentür.

Plasmaanlage Tetra 100 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra -100 mit ihren 100 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Türe kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-120-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.150 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.200 mm, H 150 mm, T 1.700 mm
Kammervolumen:
ca. 120 Liter
Gaszuführung:
4 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage hat eine automatische Türe.

Plasmaanlage Tetra 120 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung Ein Video der Plasmasonderanlage Tetra 120 LF-PC

Die Produktionsanlage Tetra -120 mit ihren 120 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Türe kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-130-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 2.100 mm, T 1.300 mm
Kammer:
B 400 mm, H 400 mm, T 810 mm
Kammervolumen:
ca. 130 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
(davon 1x über Bubbler)
1 Gaskanal Monomer über 2/2- Wegeventil
Generator:
1 Stück (13,56 MHz)
(Optional: 40 kHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Eigenschaften:
UHV bereich mit Turbopumpe

Plasmaanlage Tetra 130 LF-PC zum reinigen und beschichten von medizinischen Komponenten

Die Produktionsanlage Tetra - 130 mit ihren 130Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt beim reinigen und beschichten von medizinischen Komponenten zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 650 mm
Kammer:
B 1.200 mm, H 700 mm, T 1.500 mm
Kammervolumen:
ca. 140 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs,
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 140 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra -140-LF-PC mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.000 mm, H 1.800 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.000 mm, H 100 mm, T 1.400 mm
Kammervolumen:
ca. 140 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs, Flüssigmonomerdosierung
für Plasmapolymerisation
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 100 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Produktionsanlage Tetra -140-LF-PC mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-150-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.000 mm, H 2.100 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 400 mm, H 600 mm, T 625 mm
Kammervolumen:
ca. 150 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Rolle-zu-Rolle mit 400 mm Breite und
300 mm Durchmesser.

Plasmaanlage Tetra 150 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation





Plasmaanlage Tetra 150 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Produktionsanlage TETRA -150 - LF - PC mit ihren 150 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt bevorzugt im Bereich der Textilbeschichtung zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-185-LF-PC Desmearing


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 400 mm, H 665 mm, T 700 mm
Kammervolumen:
ca. 185 Liter
Gaszuführung:
4 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Eigenschaften:

  • Desmearing div. Materialien (Bohrlochwandreinigung)
  • Oberflächenreinigung
  • Aktivieren von metallischen Oberflächen
  • 7 Einschübe für 7 gleichzeitig zu behandelnde Platten
  • Fertigungszuschnitte bis 460 x 610 mm

Plasmaanlage Tetra 185 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation, PCB, printed curcuit boards, Desmearing





Plasmaanlage Tetra 185 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung, Desmearing von Leiterplatten

Die Produktionsanlage TETRA -185 - LF - PC mit ihren 185 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt bevorzugt bei der Leiterplattenherstellung zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-210-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.560 mm, H 2.350 mm, T 1.860 mm
Kammer:
B 1.000 mm, H 200 mm, T 1.400 mm
Kammervolumen:
ca. 210 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück Pulsgenerator
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 210 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 210 mit ihren 210 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen und Beschichten) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-240-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 3.200 mm
Kammer:
B 305 mm, H 300 mm, T 2.600 mm
Kammervolumen:
ca. 240 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 240 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 240 mit ihren 240 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-260-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 2.500 mm, H 2.200 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 650 mm, H 500 mm, T 800 mm
Kammervolumen:
ca. 260 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
10 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 260 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Produktionsanlage Tetra - 260 mit ihren 260 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-375-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 800 mm
Kammer:
B 600 mm, H 360 mm, T 1.900 mm
Kammervolumen:
ca. 375 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 375 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra-375 mit ihren 375 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-400-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 650 mm
Kammer:
B 915 mm, H 750 mm, T 725 mm
Kammervolumen:
ca. 400 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage hat eine automatische Schiebetür.

Plasmaanlage Tetra 400 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Produktionsanlage Tetra - 400 mit ihren 400 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Schiebetür kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-420-LF-PC-PCB


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.600 mm, H 2.100 mm, T 1.200 mm
Kammer:
B 750 mm, H 800 mm, T 750 mm
Kammervolumen:
ca. 420 Liter
Gaszuführung:
4 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 420 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 420 mit ihren 420 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz. Diese Anlage wird unter anderem für Desmearing von PCBs verwendet.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-500-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1.500 mm, H 1.700 mm, T 200 mm
Kammervolumen:
ca. 500 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz) Teile-Aufnahme:
2 Rolle-zu-Rolle-Systeme
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus







Plasmaanlage Tetra 500 LF-PC mit Rolle-zu-Rolle, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation Plasmaanlage Tetra 500 LF-PC mit Rolle-zu-Rolle System für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Sonderanlage Tetra - 500 mit Rolle-zu-Rolle- System und 500 Litern Kammervolumen sowie PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren von z. B. Folien) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-575-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.150 mm, H 1.900 mm, T 1.600 mm
Kammer:
B 600 mm, H 1.200 mm, T 800 mm
Kammervolumen:
ca. 575 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz) Teile-Aufnahme:
22 Etagen / Warenträger (Variabel)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows)

Plasmaanlage Tetra 575 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation Ein Video der Plasmasonderanlage Tetra 575 LF-PC

Die Sonderanlage Tetra - 575 mit ihren 575 Litern Kammervolumen sowie PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Beschichten) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 1.200 mm
Kammer:
B 810 mm, H 810 mm, T 925 mm
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 600 LF-PC für Reinigung, Aktivierung, Ätzung Ein Video der Plasmasonderanlage Tetra 600 LF-PC

Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC Version 1


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1.000 mm, H 1.000 mm, T 600 mm
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Automatisierung:
11 Etagen / Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 600 LF-PC Version 1 für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC Version 2


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 1.800 mm, T 800 mm
Kammer:
B 580 mm, H 730 mm, T 1.000 mm,
Tür mit 2 Schaugläsern
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück 40 kHz, automatische Matching
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 600 LF-PC Version 2, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel Version 1


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
Ø 1.100 mm, D 700 mm
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Drehtrommel (mit 4 Körben je 30 Liter Inhalt)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel Version 1 für Reinigung, Aktivierung, Ätzung

Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel Version 2


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.000 mm, H 2.200 mm, T 1.800 mm
Kammer:
Ø 1.000 mm, D 750 mm,
Tür mit 2 Schaugläsern
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
automatische Matching
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel Version 2, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

 Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-800-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.800 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1250 mm, H 550 mm, T 1120 mm
Kammervolumen:
ca. 800 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 800 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung

Die Produktionsanlage Tetra - 800 mit ihren 800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-850-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1500 mm, H 2000 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1300 mm, H 1800 mm, T 400 mm
Kammervolumen:
ca. 850 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 850 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung

Die Produktionsanlage Tetra - 850 mit ihren 850 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-1200-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1000 mm, H 1.000 mm, T 1800 mm
Kammer:
B 600 mm, H 1000 mm, T 2000 mm
Kammervolumen:
ca. 1200 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
3 Stück (40 kHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 1200 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung

Die Produktionsanlage Tetra - 1200 mit ihren 1200 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Vakuumanlage Tetra-1.600


Technische Daten:

Kammer:
B 900 mm, H 700 mm, T 2.600 mm
Kammervolumen:
ca. 1.600 Liter

Vakuumanlage Tetra 1.600 zum Vakuumtrocknen

Die Produktionsanlage Tetra - 1600 mit ihren 1.600 Litern Kammervolumen wird zum Vakuumtrocknen benutzt.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-2.000-RF-PC


Technische Daten:

Kammer:
B 1.000 mm, H 2.000 mm, T 1.000 mm
Kammervolumen:
ca. 2.000 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (13,56 MHz)
Teile-Aufnahme:
Bis zu 10 Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 2.000 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung

Die Produktionsanlage Tetra - 2000 mit ihren 2.000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-2400-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
Ø 1.100 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 2.400 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Drehtrommel (mit 16 Körben je 30 Liter Inhalt)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 2.400 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra-2400 mit ihren 2400 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-2800-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 800 mm
Kammer:
Ø 1.200 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 2.800 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 2.800 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung Ein Video der Plasmasonderanlage Tetra 2.800 LF-PC

 Die Produktionsanlage Tetra - 2800 mit ihren 2.800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-3000-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank 1:
B 1.200 mm, H 2.100 mm, T 600 mm
Schaltschrank 2:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1.200 mm, H 1.700 mm, T 1.510 mm
Kammervolumen:
ca. 3.000 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 3.000 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung, Sterilisierung

Die Produktionsanlage Tetra-3000 mit ihren 3.000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Sterilisieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-4400-LF-PC:


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 1.000 mm, T 800 mm
Kammer:
L 1.350 mm, T 1.250 mm, H 2.600 mm
Kammervolumen:
ca. 4.400 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Eigenschaften:
Sauerstoffgenerator
Plasmareinigungsquelle für Rootspumpen

Plasmaanlage Tetra 4.400 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 4400 - LF - PC mit ihren 4.400 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-5600-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 2.200 mm, T 1.800 mm
Kammer:
B 2.250 mm, H 2.450 mm, T 1.000 mm
Kammervolumen:
ca. 5.600 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
6 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Befüllung über Rollwägen
(Optional: Spezielle Trommel)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 5.600 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung und Beschichtung

Die Produktionsanlage Tetra - 5600 - LF - PC mit ihren 5.600 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-7000-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 2.400 mm, H 2.300 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 2.400 mm, H 2.100 mm, T 1.400 mm
Kammervolumen:
ca. 7.000 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 7.000 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 7000 - LF - PC mit Rolle-zu-Rolle-System, ihren 7.000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Beschichten) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-7300-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 1.200 mm
Kammer:
B 1.400 mm, H 2.100 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 7.300 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
3 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 7.300 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 7300 - LF - PC mit ihren 7.300 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-7500-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 3.000 mm, H 2.000 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.500 mm, T 2.000 mm, H 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 7.500 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
6 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 7.500 LF-PC  für Reinigung, Aktivierung, Ätzung und Beschichtung

Die Produktionsanlage Tetra - 7500 - LF - PC mit ihren 7.500 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-8000-LF-PC



Technische Daten:

Schaltschrank:
B 2.000 mm, H 1.800 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.700 mm, T 2.800 mm, H 1.700 mm
Kammervolumen:
ca. 8.000 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 8.000 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra - 8000 - LF - PC mit ihren 8.000 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.



Sonder-Plasmaanlage Tetra-12.600-LF-PC


Technische Daten:

Schaltschrank:
B 1.200 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
B 2.400 mm, H 2.100 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 12.600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
6 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Befüllung über Rollwägen
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Plasmaanlage Tetra 12.600 LF-PC, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Produktionsanlage Tetra-12600 mit ihren 12.600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.


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