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Die Plasmareinigungsquelle ist eine optionale Abgasreinigung für trockenlaufende Vakuumpumpen wie Roots- oder Schraubenpumpen.
Für die unterschiedlichen Plasmaanlagen gibt es passende trockenlaufende Vakuumpumpen wie Roots- oder Schraubenpumpen, um den entsprechenden Plasmaprozess durchzuführen. Es kommt in der Praxis immer wieder vor, dass diese Pumpen während einer Plasmaanwendung durch Fluidrückstände verschmutzen und somit die Vakuumpumpe in ihrer Funktion eingeschränkt wird.
Die Plasmareinigungsquelle, von Diener electronic entwickelt, produziert und zum Patent angemeldet, ist ein Schutz für diese Vakuumpumpen und reinigt die Hohlräume.
Die Plasmareinigungsquelle besteht im Wesentlichen aus einer Prozessgaszu- und -abführung zu dem Hohlraum und einer im oder am Hohlraum angeordneten Elektrode zur Plasmaerzeugung. Ablagerungen im Hohlraum können jederzeit entfernt bzw. von vornherein vermieden werden. Somit wird eine längere Lebensdauer der Vakuumpumpe gewährleistet.
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