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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN

 

[ PICO UHP ]

   
  Die Kleinanlage PICO UHP mit ihren vier Litern Kammervolumen und halbautomatischer Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
  • Kleinserienfertigung
  • Analytik (REM, TEM)
  • Medizintechnik
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Halbleitertechnik
  • Kunststofftechnik
UHP steht für Ultra High Purity. Diese Bezeichnung gilt für die Glasrezipienten unserer Plasmaanlagen, diese können je nach Kundenwunsch aus Borosilikatglas oder Quartzglas sein. Die Option UHP ist nur für folgende Anlagen erhältlich: Femto, Pico und Nano.

Eingesetzt werden Glaskammern in Mikrowellenanlagen und/oder bei Anwendungen, bei denen eine ultrareine Oberfläche erforderlich ist. Normale Edelstahl- oder Aluminiumkammern können, wie alle Metalle in einer Plasmaanlage, also auch das Behandlungsgut, in geringsten Mengen sputtern. Für die meisten Prozesse ist das nicht von Bedeutung und absolut vernachlässigbar. Die Aluminiumbauteile aus der UHP-Anlage sind mit AL2O3 beschichtet. Da die Anlage keinen Edelstahl - Rezipienten besitzt, ist sie für Anwendungen geeignet, bei denen Spuren von Chrom, Nickel und Eisen störend sind.
   
   
 
 

Technische Daten:

Schaltschrank:
B 550 mm, H 330 mm, T 500 mm
Kammer:
Ø 130 mm, L 300 mm
Kammeröffnung Ø: 125 mm
Werkstoffe: Quarz oder Borosilikatglas
Vorder-u. Rückwand der Kammer: Aluminium
Kammervolumen:
ca. 4 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ Trivac D2,5B (2,5 m³/h) Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
halbautomatisch, Prozeßzeit über Timer

Optionen / Zubehör

 
Plasmaanlage PICO UHP: auch geeignet zur Reinigung von optischen Bauelementen


Kleinanlage PICO UHP: auch geeignet zur Reinigung von optischen Bauelementen.

PREIS: auf Anfrage

Plasmaanlage PICO UHP - Plasma im Glasrezipient - Plasmaanlagen

Plasma im Glasrezipient der PICO UHP.
 

Plasmaanlage Pico UHP mit
PC-Steuerung und Scharniertür

PREIS auf Anfrage

 

Plasmaanlage Pico UHP mit PC-Steuerung und Scharniertür
 

Plasmaanlage Pico UHP vollautomatisch mit Scharniertür

PREIS auf Anfrage

Plasmaanlage Pico UHP vollautomatisch mit Scharniertür
   
  Die genannten Preise sind unverbindlich
Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlage mit uns in Verbindung.
   
   
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