diener electronic  |  Plasma-Surface-Technology Plasmaanlagen, Oberflächenbehandlung, Oberflächentechnologie, Plasma
 
german english spanish english turkish italian french
russian polish czech chinese japanese taiwanese korean
Home
  Plasmatechnik
  Produkte
  Niederdruck-Plasma
    Yocto
    Zepto - Low-Cost
    Atto - Low-Cost
    Femto
    Pico
    Nano
    Tetra 30
    Tetra 100
    Tetra 150
    Tetra-2800
    Tetra 185 PCB
    Sputteranlage
  Tetra 8
    Bell Jar 35
    Zahntechnik/Medizin
    Sonderanlagen
    Gebrauchtanlagen
    Gebrauchte
  Vakuumpumpen
    Neue Anlagen sofort
  ab Lager lieferbar!
    Aufbauprinzip
    Aufbauvariationen
    Steuerungen
    Optionen/Zubehör
    Elektronenmikroskopie
   Pirani-Vakuum-
  Messgerät
  Atmosphärisches Plasma
  Generatoren
  Plasmaindikatoren
  Mikrowellen-
einkopplung
  Plasma-
Reinigungsquelle
  Dienstleistungen
  Vertretungen
  Referenzen
  Messen
  Kontakt
  Anfahrt
  Jobs & Chancen
  Wir über uns
  Infocenter/Presse
  Lexikon
  FAQ
   

PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM PICO

[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]



Die PICO Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den PICO Plasmasystemen.

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 99931 - 0

Prospekt PICO (PDF 1011 KB)

Film vom der Plasmastandardanlage Pico LF PC für Reinigung, Aktivierung, Ätzung


Grundausstattung

- Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für
  Standgerät

Gaszufuhr

- Nadelventile
- Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

- Edelstahl
    rund mit Deckel
    (ca. Ø 150 mm, L 320 mm oder L 600 mm) oder
    rechteckig, Tür mit Scharnier
    (ca. B 160 x H 160 mm x T 325 mm oder 600 mm)

- Aluminium
    rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier
    (ca. Ø 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)

- Quarzglas (UHP)
    rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier
    (ca. Ø 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)

- Borosilikatglas (UHP)
    rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier
    (ca. Ø 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)

Beladung

  Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,
  Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech,
  Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

- Ein- oder Mehretagen
- RIE

Steuerung

- Halbautomatik
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE)

Druckmessung

- Pirani
- Baratron (für Korrosivgas Version)

Timer

- Digital

Generatoren

Frequenzen:      40 kHz: Leistung 0 - 200 W; 0 - 1000 W
                     13,56 MHz: Leistung 0 - 50 W; 0 - 100 W; 0 - 300 W
                       2,45 GHz: Leistung 0 - 300 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

- in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern
(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)


 

Hier sehen Sie einige Beispiele unserer
PICO Gehäuse



Plasmaanlage PICO Variante 1, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation, Femtoscience
 PICO Beispiel Variante 1


Plasmasystem PICO Variante 2, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 PICO Beispiel Variante 2


Plasmaanlage PICO Variante 3 für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 PICO Beispiel Variante 3


Plasmasystem PICO Variante 4, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation, Femtoscience
 PICO Beispiel Variante 4


Plasmasystem PICO Variante 5 entwickelt für die Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 PICO Beispiel Variante 5


Plasmaanlage PICO Variante 6, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 PICO Beispiel Variante 6


Plasmaanlage PICO Variante 7, Plasmacleaner, Plasmaasher, Plasmaetcher, Plasmaactivation
 PICO Beispiel Variante 7



Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.

  Home | Plasmatechnik | Lexikon | FAQ | Plasmaanlagen | Mietmaschinen | Lohnbehandlung | Beratung/Service | Vertretungen | Referenzen | Download | Messen | Kontakt | Anfahrt | Jobs & Chancen | Wir über uns | Infocenter/Presse | Impressum
  © 2015 Diener electronic GmbH + Co. KG    Webdesign Heindl Internet AG