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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM FEMTO

[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]



Die Femto Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Femto Plasmasystemen.

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 99931 - 0

Prospekt FEMTO (PDF 1007 KB)


Grundausstattung

- Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 1,9 - 6 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für
  Standgerät

Gaszufuhr

- Nadelventile
- Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

- Edelstahl
    rund mit Deckel
    (ca. Ø 100 mm, L 278 mm oder L 600 mm) oder
    rechteckig, Tür mit Scharnier
    (ca. B 103 x T 285 x H 103 mm)

- Aluminium
    rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier
    (ca. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

- Quarzglas (UHP)
    rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier
    (ca. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

- Borosilikatglas (UHP)
    rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier
    (ca. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

Beladung

  Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,
  Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech,
  Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

- Ein- oder Mehretagen
- RIE

Steuerung

- Halbautomatik
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE)

Timer

- Digital

Generatoren

Frequenzen:        40 kHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 1000 W
                       13,56 MHz: Leistung 0 - 50 W; 0 - 300 W
                         2,45 GHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

- in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern
(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)


 

Hier sehen Sie einige Beispiele unserer
FEMTO Gehäuse



Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante 1 für Prozessentwicklung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation, Femtoscience
 FEMTO Beispiel Variante 1


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante 2 mit Türschanier für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Beispiel Variante 2


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante 3, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 FEMTO Beispiel Variante 3


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante 4, Plasmacleaner, Plasmaasher, Plasmaetcher, Plasmaactivation
 FEMTO Beispiel Variante 4


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante 5, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation,Femtoscience
 FEMTO Beispiel Variante 5


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante 6 für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Beispiel Variante 6


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante 7, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 FEMTO Beispiel Variante 7


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante 8 für Serienproduktion, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Beispiel Variante 8


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante 9, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
 FEMTO Beispiel Variante 9

Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.

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