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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN
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[ AUTOMATCHING 13,56 MHz]
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Anwendungsgebiete:
Automatische oder manuelle Anpassung eines 13,56 MHz HF-Generators an ein Niederdruckplasma. |
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Automatching für 13,56 MHz
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- HF-Leistungsbereich: 100 W / 300 W
- Frequenz: 13,56 MHz
- HF-Betriebsart:
kontinuierlich oder gepulst
- Impedanz: 50 Ohm
- Eingangssteckverbinder: N-Buchse
- Ausgangsimpedanz: passend für alle Plasmakammern von Diener electronic mit einem Volumen bis 150 Liter
- HF-Ausgang: N-Einbaubuchse bis
100 Watt oder 7/16 Einbaubuchse bis 300 Watt
- Besonders geeignet für den Einsatz mit HF-Generatoren von Diener electronic oder anderen 300 Watt HF-Generatoren für 13,56 MHz, die ein 0-10 Volt_Signal für die Vorwärts- und Rückwärtsleistung bereitstellen.
- Ausgerüstet mit einer Mikrocontroller-Steuerung, die sowohl eigenständig als auch von einem Anlagen-PC arbeiten kann
- Fernsteueranschluss für:
- Vorgabe von Startwerten
- Einstellung der Betriebsart manuell / auto
- Rückmeldung der aktuellen Einstellungen
- RS232-Schnittstelle für Software- Updates oder auch Fernsteuerung
- Netzspannung: 88-264 VAC / 47-63 Hz
- Leistungsaufnahme: Max. 65 Watt
- Netzstecker: IEC
- Gewicht: ca. 20 kg
- Abmessungen: 19-Zoll-Einschub; 3HE
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