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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN

 

[ RF-GENERATOREN ]

   
  Anwendungsgebiete:
  • Niederdruckplasma
  • RF-Heizung
   
   
 

RF-Generator 13.56 MHz, 300 W

 
  • RF-Nennausgangsleistung: 300 Watt
  • Frequenz: 13.560 MHz ± 100ppm
  • Einstellbare RF-Ausgangsleistung:
       0 - 300 Watts, kontinuierlich
  • Generator kann gepulst werden:
        Min. on-time: 5µs
  • Impedanz: 50 Ohms
  • RF Stabilität: weniger als 5 %    (abhängig vom verwendeten    Anpaßgerät)
  • Fehlanpassungsschutz von offenen    Ausgang bis Kurzschluß eingebaut
  • Maximale Fehlanpassung ohne     Leistungsreduzierung: VSWR = 1,2
  • RF mit Volllast einschaltbar
  • Netzanschluß: 88 - 264 V WS /
        47 - 63    Hz
  • Leistungsaufnahme: max. 580 Watt
  • Fernsteueranschluß für:
        - RF Ein/Aus
        - RF Leistungseinstellung
         (0...10V = 0...100%)
        - Automatisches Anpaßgerät
        - PC- oder Plasmaanlagensteuerung
  • RF-Ausgang : N-Buchse
  • Netzanschluß: IEC Einbaustecker mit     Filter
  • Masse: ca. 18 kg
 
Front- und Rückansicht von RF-Generator 13,56 MHz, 300W
Technische Daten von RF-Generator 13,56 MHz, 300W

RF-Generator 300
   
   
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