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TETRA-30
Grundausstattung
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Kammervolumen |
je nach Version 34 -57 Liter |
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Etage(n) |
Mehretagenelektrode |
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Spannungsversorgung |
400 V, 3 Phasen |
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Gasanschlüsse |
2 oder mehr |
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Saugleistung Pumpe |
min. 16 m³/h |
Ausstattungsvarianten
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Plasmakammer |
. Edelstahl, L x B x T: 305 x 300 x 370 mm
. Edelstahl, vergrößert: 305 x 300 x 625 mm |
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Generator (siehe Kapitel 2.7.25.) |
. LF (1.000 W)
. RF manuell (300 W / 600 W)
. RF automatisch (300 W / 600 W)
. MW (1.200 W) |
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Steuerung (siehe Kapitel 2.3.) |
. halbautomatisch
. vollautomatisch
. PC-Steuerung |
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Elektrode (siehe Kapitel 2.7.14.) |
. RIE
. PE |
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Gasversorgung |
. Nadelventil
. MFC |
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Weitere Optionen |
. Korrosivgasversion
. Drehtrommel
. Ersatzteilpaket
. Monomerflasche
. Heizplatte bzw. beheizbare Kammer
. zusätzliches Nadelventil aus Messing oder Edelstahl
. Druckmessgerät (Pirani)
. Druckminderer
. Gasflasche (Ar, H2, O2, CF4)
. Faraday-Box
. Mehretagenelektrode
. Temperaturanzeigegerät
. Mass Flow Controller
. Glasboot
. . |
Technische Änderungen vorbehalten
Abb. 91: TETRA-30-LF Standartversion
Abb. 92: TETRA-30-LF-PC
TETRA-100
Grundausstattung
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Kammervolumen |
ca. 100 Liter |
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Etage(n) |
Mehretagenelektrode |
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Spannungsversorgung |
400 V, 3 Phasen |
| Gasanschlüsse |
2 oder mehr |
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Saugleistung Pumpe |
min. 40 m³/h |
Ausstattungsvarianten
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Plasmakammer |
. Edelstahl, L x B x T: 400 x 400 x 625 mm |
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Generator (siehe Kapitel I.7.25) |
. LF (1.500 W)
. RF manuell (600 W)
. RF automatisch (600 W)
. MW (1.200 W) |
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Steuerung (siehe Kapitel I.3) |
. halbautomatisch
. vollautomatisch
. PC-Steuerung |
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Elektrode (siehe Kapitel I.7.14) |
. RIE
. PE |
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Gasversorgung |
. Nadelventil
. MFC |
|
Weitere Optionen |
. Verkürzte Plasmakammer
. Korrosivgasversion
. Drehtrommel
. Ersatzteilpaket
. Monomerflasche
. Heizplatte bzw. beheizbare Kammer
. zusätzliches Nadelventil aus Messing oder Edelstahl
. Druckmessgerät (Pirani)
. Druckminderer
. Gasflasche (Ar, H2, O2, CF4)
. Faraday-Box
. Mehretagenelektrode
. Temperaturanzeigegerät
. Mass Flow Controller
. Glasboot
. . |
Technische Änderungen vorbehalten
Abb. 93: TETRA-100-LF Standartversion
Abb. 94: TETRA-100-LF-PC
TETRA-150
Grundausstattung
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Kammervolumen |
ca. 150 Liter |
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Etage(n) |
Mehretagenelektrode |
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Spannungsversorgung |
400 V, 3 Phasen |
| Gasanschlüsse |
2 oder mehr |
|
Saugleistung Pumpe |
min. 65 m³/h |
Ausstattungsvarianten
|
Plasmakammer |
. Edelstahl, L x B x T: 600 x 400 x 625 mm |
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Generator (siehe Kapitel I.7.25) |
. LF (2.500 W)
. RF manuell (1.000 W)
. RF automatisch (1.000 W)
. MW (1.200 W) |
|
Steuerung (siehe Kapitel I.3) |
. halbautomatisch
. vollautomatisch
. PC-Steuerung |
|
Elektrode (siehe Kapitel I.7.14) |
. RIE
. PE |
|
Gasversorgung |
. Nadelventil
. MFC |
|
Weitere Optionen |
. Verkürzte Plasmakammer
. Korrosivgasversion
. Drehtrommel
. Ersatzteilpaket
. Monomerflasche
. Heizplatte bzw. beheizbare Kammer
. zusätzliches Nadelventil aus Messing oder Edelstahl
. Druckmessgerät (Pirani)
. Druckminderer
. Gasflasche (Ar, H2, O2, CF4)
. Faraday-Box
. Mehretagenelektrode
. Temperaturanzeigegerät
. Mass Flow Controller
. Glasboot
. . |
Technische Änderungen vorbehalten
Abb. 95: TETRA-150-LF Standardversion
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