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2.2. Plasmaanlagen
2.2.1. Standardanlagen - Überblick
Alle Plasmasysteme können in den verschiedensten Variationen kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Standardanlagen.
FEMTO
Grundausstattung
Kammervolumen |
je nach Version 1,9 - 2,8 Liter |
Etage(n) |
1-2 |
Spannungsversorgung |
230 V (120 V) |
Gasanschlüsse |
1 Stück |
Saugleistung Pumpe |
min. 1,5 m³/h |
Ausstattungsvarianten
|
Plasmakammer |
. Edelstahl Ø 100 mm, L 270 mm
. Glasversion (UHP) Ø 95 mm, L 270 mm Öffnung: Ø 90 mm
. Rechteckige Version 100 x 100 mm, L 280 mm |
|
Generator (siehe Kapitel 2.7.25.) |
. LF (100 W)
. RF manuell (100 W)
. RF automatisch (100 W)
. MW (260 W) |
|
Steuerung (siehe Kapitel 2.3.) |
. halbautomatisch
. vollautomatisch
. PC-Steuerung |
|
Elektrode (siehe Kapitel 2.7.14.) |
. RIE
. PE |
|
Gasversorgung |
. Nadelventil
. MFC |
|
Weitere Optionen |
. Korrosivgasversion
. Drehtrommel
. Ersatzteilpaket
. Monomerflasche
. Heizplatte bzw. beheizbare Kammer
. zusätzliches Nadelventil aus Messing oder Edelstahl
. Druckmessgerät (Pirani)
. Druckminderer
. Gasflasche (Ar, H2, O2, CF4)
. Faraday-Box
. Mehretagenelektrode
. Temperaturanzeigegerät
. Mass Flow Controller
. Glasboot
. . |
Abb. 83: FEMTO Standartversion
Abb. 84: FEMTO mit Scharniertür
Abb. 85: FEMTO PC
Technische Änderungen vorbehalten
PICO
Grundausstattung
Kammervolumen |
je nach Version 4 - 8 Liter |
Etage(n) |
1-3 Stück |
Spannungsversorgung |
230 V (120 V) |
Gasanschlüsse |
1-2 |
Saugleistung Pumpe |
min. 2,5 m³/h |
Ausstattungsvarianten
|
Plasmakammer |
. Edelstahl Ø 150 mm, L 320 mm
. Glasversion (UHP) Ø 130 mm, L 300 mm Öffnung: Ø 125 mm
. Rechteckige Version 160 x 160 mm, L 325 mm |
Generator (siehe Kapitel 2.7.25.) |
. LF (200 W)
. RF manuell (200 W)
. RF automatisch (200 W)
. MW (260 W) |
Steuerung (siehe Kapitel 2.3.) |
. halbautomatisch
. vollautomatisch
. PC-Steuerung |
Elektrode (siehe Kapitel 2.7.14.) |
. RIE
. PE |
Gasversorgung |
. Nadelventil
. MFC |
Weitere Optionen |
. Korrosivgasversion
. Drehtrommel
. Ersatzteilpaket
. Monomerflasche
. Heizplatte bzw. beheizbare Kammer
. zusätzliches Nadelventil aus Messing oder Edelstahl
. Druckmessgerät (Pirani)
. Druckminderer
. Gasflasche (Ar, H2, O2, CF4)
. Faraday-Box
. Mehretagenelektrode
. Temperaturanzeigegerät
. Mass Flow Controller
. Glasboot
. . |
Abb. 86: PICO Standartversion
Abb. 87: PICO mit Scharniertür
Abb. 88: PICO mit Scharniertür und PC-Steuerung
Technische Änderungen vorbehalten
NANO
Grundausstattung
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Kammervolumen |
je nach Version 18 - 24 Liter |
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Etage(n) |
1-2 Stück |
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Spannungsversorgung |
230 V (120 V) |
| Gasanschlüsse |
2 Stück |
|
Saugleistung Pumpe |
min. 8 m³/h |
Ausstattungsvarianten
|
Plasmakammer |
. Edelstahl Ø 267 mm, L 420 mm
. Glasversion (UHP) Ø 240 mm, L 400 mm Öffnung: 210 mm |
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Generator (siehe Kapitel 2.7.25.) |
. LF (300 W)
. RF manuell (300 W)
. RF automatisch (300 W)
. MW (300 W) |
|
Steuerung (siehe Kapitel 2.3.) |
. halbautomatisch
. vollautomatisch
. PC-Steuerung |
|
Elektrode (siehe Kapitel 2.7.14.) |
. RIE
. PE |
|
Gasversorgung |
. Nadelventil
. MFC |
|
Weitere Optionen |
. Korrosivgasversion
. Drehtrommel
. Ersatzteilpaket
. Monomerflasche
. Heizplatte bzw. beheizbare Kammer
. zusätzliches Nadelventil aus Messing oder Edelstahl
. Druckmessgerät (Pirani)
. Druckminderer
. Gasflasche (Ar, H2, O2, CF4)
. Faraday-Box
. Mehretagenelektrode
. Temperaturanzeigegerät
. Mass Flow Controller
. Glasboot
. . |
Abb. 89: NANO Standartversion
Abb. 90: NANO mit Scharniertür
Technische Änderungen vorbehalten
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