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2.1.5. Sonderprozesse
2.1.5.1. Halogenieren:
-Es können z.B. Permeationssperrschichten mit fluorhaltigen Prozessgasen erzeugt werden.
Anwendung: Kraftstofftanks
-Scheibenwischblätter können chloriert werden, um bessere Gleiteigenschaften zu erhalten.
2.1.5.2. Sterilisieren:
Mit Plasma können trockene Teile sterilisiert werden. Als Prozessgas wird Sauerstoff oder Wasserstoffperoxid verwendet.
2.1.5.3. Ätzen von PTFE:
PTFE lässt sich ohne Vorbehandlung nicht verkleben oder bedrucken. Bei den nasschemischen Verfahren zur Oberflächenbehandlung wird das PTFE mit aggressiven Alkalimetalllösungen angeätzt. Dabei bildet sich eine klebefähige braune Schicht an der Oberfläche. Das Verfahren ist jedoch nicht einfach zu handhaben. Chemische Lösungen sind explosionsgefährlich und umwelttechnisch sehr bedenklich.
Die Vorbehandlung im Niederdruckplasma ist eine umweltfreundliche Alternative (Abb. 66)
Durch den Plasmaprozess wird die Oberfläche strukturiert und somit vergrößert. Zusätzlich bildet sich eine Zwischenschicht (das Fluor an der Oberfläche wird reduziert). Durch die Kombination aus beiden Effekten kann die Oberfläche verklebt bzw. lackiert werden.
Beispiel für angeätzte PTFE-Platte:
Der Farbunterschied zwischen der behandelten und der unbehandelten Oberfläche ist deutlich zu sehen. Anhand der Verfärbung kann man die Stärke der Ätzung sehen. Allerdings muss man darauf achten, dass das Material nicht überbehandelt wird, da dadurch der gegenteilige Effekt erreicht wird.
2.1.5.4. Verkleben von PTFE:
Die Verklebung von PTFE kann mit verschiedenen Klebesystemen erfolgen (Abb. 69). Sehr gute Ergebnisse wurden mit Zweikomponenten-Klebstoffen auf Epoxidbasis erzielt.
Abb. 70: Anwendungsbeispiel für eine Verklebung mit PTFE.
Hier wird das behandelte PTFE mit einem Vitonring (Dichtung) verklebt.
2.1.5.5. Ätzen von PTFE-Compounds:
Bei der Plasmaätzung von PTFE-Compounds darf die Oberfläche nicht zu stark geätzt werden, da der Füllstoff freigelegt und dadurch die Haftung herabgesetzt wird (Abb. 71).
Beispiele für PTFE-Compounds
Abb. 72, 73: Beispiele für PTFE-Compounds ohne Struktur Abb. 74: strukturiert mit Netz
2.1.5.6. Epilamisieren (Beschichten mit PTFE)
Epilamschichten werden in der Feinmechanik benötigt, um Schmieröl daran zu hindern, von Schmierstellen weg zu kriechen.
Epilamschichten können auf 2 verschiedene Weisen erzeugt werden:
- Fluorierung: Die Bauteile werden mit geeigneten fluorhaltigen Prozessgasen fluoriert.
Dieses Verfahren eignet sich nur für Kunststoffteile.
Fluoratome werden in die Oberfläche der Kunststoffe eingelagert und
wandeln den Kunststoff in einen PTFE-ähnlichen Kunststoff um.
- Polymerisation: Durch die Wahl geeigneter Prozessgase können sehr dünne PTFE-Schichten auf Bauteile aufgebracht werden. Dieses Verfahren eignet sich für Kunststoff- und Metallteile.
Bei Kunststoffen laufen beide Prozesse gleichzeitig ab. Sie können durch die Wahl des Prozessdruckes und der Gaszusammensetzung in die eine oder andere Richtung gesteuert werden. Drehtrommelbetrieb ist möglich.
Die Prozesszeiten liegen zwischen ca. 30 Sekunden und 10 Minuten.
Alle drei Standardfrequenzen (40 kHz, 13,56 MHz, 2,45 GHz, siehe Kapitel 2.4.) kommen in
Frage.
Vorteile:
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