Plasmatechnik

Inhalt

1. Einführung in die Niederdruckplasmatechnik

1.1. Wie funktioniert eine Niederdruckplasmaanlage?

1.2. Was ist Plasma?

2. Niederdruckplasmatechnik

2.1. Anwendungen

2.1.1. Reinigen

2.1.2. Aktivieren

2.1.3. Ãtzen

2.1.4. Beschichten mittels Plasmapolymerisation

2.1.5. Sonderprozesse

2.1.5.7. Beschichten mittels Sputterverfahren

2.2. Plasmaanlagen

2.2.1. Standardanlagen -Überblick (Teil 1, FEMTO, PICO, NANO) (Teil 2, TETRA)

2.2.2. Groß- und Sonderanlagen

2.3. Steuerungen

2.3.1. Prozessablauf

2.3.2. Halbautomatische (manuelle) Steuerung

2.3.3. Vollautomatische Steuerung

2.3.4. PC-Steuerung

2.4. Welche Frequenz ist die beste Frequenz?

2.5. Laufende Kosten einer Plasmaanlage

2.6. Vakuumpumpen

2.6.1. Drehschieberpumpen

2.6.2. Trockenlaufende Pumpen

2.6.3. Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen)

2.7. Lieferbare Optionen

3. Prozesstechnik im Atmosphärendruckplasma

3.1. Anwendungen

3.2. Aufbau- und Funktionsprinzip

3.3. Teilebezeichnung eines atmosphärischen Plasmasystems

3.4. Prozessgase

3.5. Abgase

3.6. Technische Daten eines Standard-Systems