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2.3.4. PC-Steuerung
Dieser Steuerungstyp ist ebenfalls sehr einfach zu bedienen, da die Bedienerführung über Windows geschieht.
Abb. 113: Ansicht Prozessdokumentation
Die PC- Steuerung ist vor allem für die Anwender gedacht
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für die Prozessdokumentation wichtig ist (zertifizierte Unternehmen) oder
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für die Anwender, die viele verschiedene Prozesse benötigen. Mit der Steuerung können bis zu 100 Prozesse abgespeichert werden.
Alle denkbaren Fehlermöglichkeiten werden von der Steuerung erfasst.
Die Steuerung kann in zwei verschiedenen Modi in Betrieb genommen werden:
-Manueller Betrieb: Manuelles Bedienen der Maschine über Dialog- Box
Abb. 114: Manueller Betrieb
-Automatischer Betrieb: Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses
Mögliche Auswertungen:
. Alle Prozessgrößen werden grafisch dargestellt und können über einen handelsüblichen Drucker ausgegeben werden. Es können Kommentare eingegeben werden. Im Archiv können alle gespeicherten Prozesse inkl. Alarmliste und Dateiinfo jederzeit angesehen werden.
Abb. 116: Archivansicht eines Plasmaprozesses
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Der Druck kann über einen digitalen PID-Regler geregelt werden.
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Alle Prozessdaten können als Excel-Datei abgespeichert werden.
Auf Wunsch kann das Prozessende akustisch angezeigt werden.
Über so genannte Mass-Flow-Controller können die Gasflüsse sehr präzise geregelt werden, was mit Nadelventilen nicht möglich ist.
Zusätzliche Funktionen wie z.B. zusätzliche Anzeige der Biasspannung oder Temperatur lassen sich mit diesem Steuerungstyp besonders einfach realisieren.
Die Steuerungen sind auf Wunsch auch in Englisch, Französisch und anderen Sprachen erhältlich.
2.4. Welche Frequenz ist die beste Frequenz?
Diese Frage kann nicht allgemein beantwortet werden, sondern muss von Fall zu Fall
entschieden werden. Der Trend geht im Moment allerdings hin zu den kHz-Generatoren. Mit den kHz-Maschinen können ca. 90 % aller Teile unserer Kunden behandelt werden. Diese Übersicht soll als Entscheidungshilfe dienen:
Frequenz 40 kHz:
Frequenz 13,56 MHz
Frequenz 2,45 GHz:
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