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2.2.2. Groß- und Sonderanlagen
Wir bauen auch Plasmaanlagen speziell zugeschnitten für Ihre Bedürfnisse. Die Anlagen werden nach folgenden Gesichtspunkten konzipiert:
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zu erwartender Materialdurchsatz
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Größe der zu behandelnden Teile
Beispiele für realisierte Projekte:
Sonderanlage Tetra-120-LF:
Die Plasmaanlage Tetra-120-LF mit Ihren 120 Litern Kammervolumen und automatischer Tür kommt in der Serienfertigung / Serienproduktion (Bauteile für Mobiltelefone) zum Einsatz.
Sonderanlage Tetra-500-LF-PC:
Die Plasmavorbehandlungsanlage Tetra-500-LF-PC mit Ihren 500 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und automatischer Tür kommt in der Serienfertigung / Serienproduktion (Kunststoffaktivieren) zum Einsatz.
Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC:
Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung / Serienproduktion (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Abb. 100: Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC geöffnet Abb. 101: Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC geschlossen
Sonderanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel:
Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung / Serienproduktion (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Abb. 102: Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC Abb. 103: Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel geschlossen mit Drehtrommel geöffnet
Sonderanlage Tetra-2400-LF-PC:
Die Produktionsanlage Tetra-2400 mit ihren 2.400 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung / Serienproduktion (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Abb. 104: Plasmaanlage Tetra-2400-LF-PC konzipiert für die Produktion
Sonderanlage Tetra-5600-LF-PC:
Die Produktionsanlage Tetra-5600 mit Ihren 5.600 Litern Kammervolumen steht bei Diener electronic und kommt unter anderem in der Prozessentwicklung zum Einsatz.
Abb. 105: Plasmaanlage Tetra-5600-LF geöffnet Abb. 106: Plasmaanlage Tetra-5600-LF geschlossen
Sonderanlage Tetra-12600-LF-PC:
Die Produktionsanlage Tetra-12600 mit Ihren 12.600 Litern Kammervolumen und PC Steuerung kommt in der Serienfertigung / Serienproduktion (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.
Abb. 107: Plasmaanlage Tetra-12600-LF-PC geöffnet Abb. 108: Befüllung der Plasmaanlage über Rollwägen
Abb. 109: Plasmaanlage Tetra-12600-LF-PC geschlossen
Abb. 110: Plasma in der Anlage Tetra-12600-LF-PC Kunststoffteile zur Aktivierung
2.3. Steuerungen
2.3.1. Prozessablauf
Bei allen Maschinen unabhängig vom Steuerungstyp gibt es 5 Prozessschritte:
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Abpumpen: Rezipient wird auf unteren Abpumpdruck evakuiert
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Gasstabilisierungszeit: Gas wird eingelassen und Druck stabilisiert sich
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Prozesszeit: HF-Generator ist eingeschaltet
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Spülzeit: Pumpe läuft und Spülgas (z.B. Luft) strömt ein. Eventuell gesundheitsschädliche Prozessgase werden aus der Kammer gespült.
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Belüften: Kammer wird mit Luft gefüllt. Es wird nicht abgepumpt.
Folgende drei Steuerungen sind möglich:
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Halbautomatische Steuerung
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Vollautomatische Steuerung
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PC-Steuerung
2.3.2. Halbautomatische (manuelle) Steuerung
Die einzelnen Prozessschritte werden vom Anwender manuell geschaltet:
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Pumpe einschalten
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Prozessgas(e) einschalten
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Zeit einstellen
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Leistung einstellen
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Generator starten
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Spülen
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Belüften
2.3.3. Vollautomatische Steuerung
Dieser Steuerungstyp ist durch die Einknopfbedienung besonders bequem zu handhaben. Die einzelnen Prozessschritte werden über Signallampen angezeigt. Die Analogwerte für HF-Leistung und Prozessdruck werden über Analogmessgeräte angezeigt.
Abb. 112: Bedienelemente einer Tetra Plasmaanlage
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