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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
B 400 mm, H 400 mm, T 625 mm
Kammervolumen:
ca. 100 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
40kHz/0-2.500 W
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D40B (40 m³/h)
Teile-Aufnahme:
bis zu 10 Warenträger
(Optional: Drehtrommel)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows)
Optionen / Zubehör
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TETRA-100-LF-PC zur Produktion: Reinigung, Aktivierung,
Ätzung
Sechsfach-Warenträger und Drehtrommel für
TETRA-Systeme |
