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Die Oberfläche
wir durch den Ionenbeschuß physikalisch und, je nach
Gasart, auch durch chemische Reaktionen gereinigt. Die Verschmutzung
wird in die Gasphase umgesetzt und abgesaugt.
Anwendungen:
- Entfernen von Fetten, Ölen, Oxiden oder Silikonen (LABS-frei)
- Bond-, Löt- oder Klebevorbehandlung
- Lackiervorbehandlung von Metallteilen
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