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Prozess zur Reinigung einer Oberfläche, meist eines Metalls, durch Abtragen von Oberflächenoxid oder Passivschichten. Ätzprozesse werden entweder durch Tauchen in sauren oder alkalischen Lösungen oder durch Plasma-Behandlung ("Plasma-Ätzen") in einem geeigneten Prozessgas durchgeführt. Beispiele für die Anwendung von Plasma-Ätzprozessen sind Silicium, SiO2 und Si4N3 in der Mikroelektronik, Metalle mit Oberflächenoxid sowie schlecht haftende Kunststoffe wie PTFE.
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