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Die Oberfläche
wird mit einem reaktiven Prozeßgas angeätzt. Material
wird abgetragen, in die Gasphase umgesetzt und abgesaugt.
Die Oberfläche wird vergrößert und ist sehr
gut benetzbar.
Anwendungen:
- z.B. Strukturierung von Silizium
- Ätzen von PTFE
- Gute Lack- und Klebstoffhaftung bei hochtemperatur- festen Kunststoffen
wie z.B. PTFE, PFA und FEP
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