| |
Technické údaje:
rozvaděč:
W 600 mm, H 1100 mm, D 650 mm
komora:
W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm
(volitelně: L 625 mm)
objem komory:
přibližně 34 litrys
zdroj plynu:
2 plynové kanály přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/0-1000 W
(volitelně: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
vakuová pumpa:
Leybold, Typ D16B (16 m³/h)
nosiče výrobků:
do 6 ks nosičů výrobků
(volitelně: rotační buben)
řízení:
plně automatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
volitelné položky / příslušenství
|
|
Plasma system TETRA-30-LF systém: s plně automatickým řízením. Navržen pro výrobu, čištění, aktivaci, leptání. |
