| Plasma equipment: Pro působení plazmy na velké vzorky může být vhodnější přizpůsobit tvar elektrody. To zaručuje rovnoměrné leptání celého vzorku včetně pórů. |
|
Plasma equipment: Pro ošetření fólií je celý buben vložen do komory. Pro působení plazmy je plocha vedena podél elektrody navíjecím mechanizmem. Po ukončení procesu, ošetřená a navinutá fólie je vyjmuta z komory. |
