VÝRAZY POUZÍVANÉ V PLAZMOVÉ FYZICE :: Tetrafluormetan

	SLOVNÍK VÝRAZŮ
	[ VÝRAZY POUZÍVANÉ V PLAZMOVÉ FYZICE ]

	Tetrafluormetan Často pouzívaný jako procesní plyn v plazmových procesech, zvlástě v procesech leptání. Tetrafluormetan ( CF4, označovaný také Freon 14 ) je za bězných podmínek zcela inertní, ale tvoří volné atomy fluoru a CF2 a CF3 radikály, kdyz je pouzit jako plazmový procesní plyn. Tyto radikály vyvíjejí velmi silný leptací účinek, např. na oxidu křemičitém. Směs CF4 a kyslíku leptá pětkrát rychleji nez čistý kyslík.

	home \| Plazmová technika \| Slovník výrazů \| FAQ \| Plazmové systémy \| Systémy k pronájmu \| Placené sluzby \| Poradenství / Servis \| Odkazy / zastoupení \| Reference \| Ke stazení \| Veletrhy \| Kontaktujte nás \| Kde nás najdete \| O nás \| Komentář

	© 2009 Diener electronic GmbH + Co. KG Webdesign Heindl Internet AG

SLOVNÍK VÝRAZŮ